SJ/T 11576-2016 喷雾式涂覆设备通用规范

SJ/T 11576-2016.General Speifcation for Spray Coating Equipment.
1范围
SJ/T 11576规定了喷雾式涂覆设备(以下简称“设备”)的术语和定义、产品分类、要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存及使用说明书等。
SJ/T 11576适用于半导体分立器件与集成电路制造过程中，在基片表面通过喷雾式涂覆形成均匀胶膜的设备。
2规范性引用文件
下列文件对于本文的的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅由日明的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB 2894安全标志及其使用导则
GB/T 2900/16电工术语基本术语
GB/T 5080.7设备可靠性试验但定失效率假设下的失效 率与平均无故障时间的脸证试验方案
GB 5226.- 2008 机械电气安全机械电气设备 第1部分通用技术条件
GB/T 996业产品使用说明书总则
GB/T 25915. 52010洁净室及相关受校环境 第部分:空气洁净度等级
GB/T 29845中鲁体制造设备的最终装配、包装、运输、拆包及安放导则
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SJ/T 1552电长工业专 用设备机械装配技术要求
SJ/T 1635 电子工业管路的基本识别色和识别符号
SJ/T 1183匀胶设通用规范
SJ 20385A-2008军用电子动备由工装率技大术A
3术语和定义
GB/T 2900. 1和SJ/T 11183界定的以及下列术语和定义适用于本文件。
3.1
喷雾式涂覆设备spray coating equipment
在半导体器件及其它产品生产过程中,将液体雾化并以- -定的压力通过喷嘴喷出，在基片表面形成均匀的胶液层，并进行相应的处理，以实现基片表面在相应工艺前形成胶膜的基片处理设备。文章源自标准下载网-https://www.biao-zhun.cn/92126.html

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