SJ/T 11502-2015 碳化硅单晶抛光片规范

SJ/T 11502-2015.Specification for polished monocrystalline silicon carbide wafers.
1范围
SJ/T 11502规定了碳化硅单晶抛光片的术语和定义、牌号.要求.试验方法、检验规则以及包装、标志、贮存和运输等内容。
SJ/T 11502适用于晶型为6H和4H，单面或双面抛光。直径100mm及以下的碳化硅单晶抛光片。其它晶型或尺寸的碳化硅单晶抛光片可参服使用。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注8期的引用文件仅国田期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用标准，其最新版本《包括所有的修改单)遭用本文件、A
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