SJ/T 11508-2015 集成电路用正胶显影液

SJ/T 11508-2015.Positive Photoresist developer for Integrated Circuit.
1范围
SJ/T 11508规定了集成电路用正胶显影液的术语、性状、技术要求、试验方法、检验规则和包装、标志、储存、运输等。
SJ/T 11508适用于集成电路用正胶显影液，以下简称正胶显影液。
SJ/T 11508不涉及使用安全性问题本标准的使用人病负责建立适当的安全健康条款及使用范围的限制。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的，凡是注日期的引用件，仅所进日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件
GB/T 191包装储运图示标志
GB/T 601 任学试剂标准商溶液配制
GB/T 602化学试剂杂盾测念用标准浴液的制备
GB/T 603化学试剂 试验方法中所使用制剂及制易的制备
GB/T 605化学试剂色应测定通用方法
GB/T 631-2002化学试剂
GB/T 6678也亚产品采样总则
GB/T 6682分析实验室用水规格和试验方法
GB/T 8170数 值的的规则与极限数值的表示和判定
GB/T 9729化学 武孙氯化物测定通用方法
GB/T 11446.1电子级水
GB 15258化学品安全的空编写规定、
GB 50472电子工业洁的厂用设计规范
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