SJ/T 11506-2015 集成电路用铝腐蚀液

SJ/T 11506-2015.Aluminum etching solution for Integrated Circuit.
1范围
SJ/T 11506规定了集成电路用铝腐蚀液(以下简称铝腐蚀液)的术语、性状、技术要求、试验方法、检验规则和包装、标志、储存、运输等。
SJ/T 11506适用于集成电路用铝腐蚀液。
SJ/T 11506不涉及使用安全性问题一本标准的使用人痤负责建立适当的安全健康条款及使用范围的限制。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的风是注日期的引两文件，仅所的日明的版本适用于本文件。凡是不注日期的用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件
GB/T 191包装储运图
GB/T 601但学试剂标熊病定溶液配制
GB/T 602化学试剂杂质定用标准路液的制备
GB/T 603化学武剂试验方法中所使用制测及制量的制备
GB/T 442-2011化工广易密度、相对彩度测定通则
GB/T 6678化工产品采样总则
GB/T 6682发近实验室用水规格和试验方法
GB/T 8170数据修约规则与极限数值的表示和判定
GB/T 9728化前硫酸盐测定通用方法
GB/T 9729化学试孙氯化物测定通用方法
GB/T 11446.1电子级水
GB 15258化学品安全包空编写规定
GB 50472电子工业治段厂国设计规范
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